发明名称 感放射线性组成物以及硬化膜及其形成方法
摘要
申请公布号 TWI483070 申请公布日期 2015.05.01
申请号 TW101109869 申请日期 2012.03.22
申请人 JSR股份有限公司 发明人 铃木康伸;本田晃久;奥田务;上田二朗
分类号 G03F7/028;C08L83/04;H01L21/027;H01L21/312 主分类号 G03F7/028
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 一种感放射线性组成物,含有以下的成分[A1]、成分[B]及成分[C]:[A1]使四乙氧基矽烷或其部分水解物、下述式(1)所表示的水解性矽烷化合物或其部分水解物、及下述式(2)所表示的水解性矽烷化合物或其部分水解物进行水解缩合而获得的聚矽氧烷;[B]具有2个以上的乙烯性不饱和基的化合物(其中成分[A1]除外);[C]光自由基聚合起始剂;[化1][化2][式(1)中,R1表示碳数1~6的烷基,R2表示碳数1~20的烷基、碳数6~14的芳基或(甲基)丙烯醯氧基,m表示1~3的整数,n表示0~6的整数;式(2)中,R3表示碳数1~6的烷基,x表示1~3的整数,y表示1~6的整数,z表示0~3的整数]。
地址 日本