处理装置

主权项

一种处理装置，具备：用以对于被处理体进行处理之制程模组；载置被搬入至该制程模组之前的被处理体之前段模组；以及用以在前述制程模组与前述前段模组之间搬送被处理体之搬送机构，该处理装置之特征为：具备有控制部，其系在前述搬送机构之搬送动作中，当发生有一连串之搬送动作被暂时停止之前述搬送机构的等待时间时，输出藉由延长搬送臂之伸长及退缩之动作时间而使前述搬送机构之搬送速度减少的控制讯号，前述制程模组存在有复数，在依序将被处理体从上述前段模组搬入至复数之制程模组中的一循环中，上述控制部系对将前述被处理体从最后搬入有被处理体之制程模组搬入至前述前段模组的前述搬送机构之搬送动作，输出使搬送速度减少之控制讯号。