发明名称 |
无错位结晶板的制造方法及其装置 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI482889 |
申请公布日期 |
2015.05.01 |
申请号 |
TW098118778 |
申请日期 |
2009.06.05 |
申请人 |
瓦里安半导体设备公司 |
发明人 |
凯勒曼 彼德L;辛克莱 法兰克;卡尔森 菲德梨克;贝特曼 尼可拉斯P T;米歇尔 罗伯特J |
分类号 |
C30B23/06;C30B29/06;C30B29/08 |
主分类号 |
C30B23/06 |
代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
主权项 |
一种自熔体形成板的方法,包括:使用冷却平板在材料之熔体上形成具有第一宽度之所述材料的板,所述板具有错位;相对于所述冷却平板而输送所述板,藉此所述错位迁移至所述板之边缘;以及随着所述板相对于所述冷却平板而输送,藉由改变所述冷却平板之参数来使所述板增加至第二宽度,所述第二宽度大于所述第一宽度,所述板在所述第二宽度处不具有所述错位。 |
地址 |
美国 |