发明名称 用于配置静态随机存取记忆体单元之方法,装置及系统
摘要
申请公布号 TWI483324 申请公布日期 2015.05.01
申请号 TW097131350 申请日期 2008.08.15
申请人 德州仪器公司 发明人 艾利丝王;大卫 史考特;苏曼斯 古鲁拉杰雷欧;高登 加米;苏哈 席鲁凡加登
分类号 H01L21/66;G11C29/44;G11C11/411 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 蔡瑞森 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种半导体晶圆测试系统,其包括:一晶圆探针,其组态成提供电存取一半导体晶圆上之各SRAM阵列;一晶圆定位器,其组态成对准该半导体晶圆以使能够在该半导体晶圆上之各接触与该晶圆探针之各接触点之间存取;以及一晶圆测试器,其组态成经由该晶圆探针确定该等SRAM阵列之各电参数,该晶圆测试器包含一适应性偏压器件,其包括:一特性感测器,其组态成确定该等SRAM阵列之各SRAM位元单元之一效能特性;一比较器,其组态成比较该效能特性与一目标;以及一偏压选择器,其组态成基于该比较而选择性地加偏压于该等SRAM位元单元。
地址 美国