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发明名称
被膜形成用组成物及使用其之被膜形成方法
摘要
本发明提供一种可形成气体屏障性优良之被膜的被膜形成用组成物以及一种被膜形成方法。;本发明之被膜形成用组成物,其特征在于包含不具羟基或羧基的聚矽氧烷、聚矽氮烷及有机溶剂而成;本发明之被膜形成方法,其系包含将该组成物涂布于基板上并进行曝光的步骤而成。
申请公布号
TW201516092
申请公布日期
2015.05.01
申请号
TW103131842
申请日期
2014.09.16
申请人
AZ电子材料卢森堡有限公司 AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S. A. R. L.
发明人
尾崎佑树 OZAKI, YUKI;佐竹昇 SATAKE, NOBORU;河户俊二 KAWATO, SHUNJI;小林政一 KOBAYASHI, MASAKAZU
分类号
C08L83/04(2006.01);C08L83/16(2006.01);C08J5/18(2006.01)
主分类号
C08L83/04(2006.01)
代理机构
代理人
王彦评赖碧宏
主权项
地址
卢森堡 LU
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