复合范围压力感测器

摘要

一种复合范围压力感测器，包含一底板、一主体、一可动感测结构、多个第一压感元件及多个第二压感元件。主体设于底板且具有一镂空部。可动感测结构与主体及底板配合界定一第一空腔，其内部形成一第二空腔，并包括一薄膜，设于主体并覆盖镂空部；及一挡止块，设于薄膜与底板之间。第一压感元件设于薄膜且位于第一空腔对应第二空腔以外的区域。第二压感元件形成于薄膜对应第二空腔的区域。薄膜受压而形变并连动挡止块；于压力大于一压力门槛值时，挡止块抵于底板而使薄膜位于第二空腔的区域呈现较大的形变变化量。