线型扫描形貌量测系统;LINEAR SCANNING TOPOGRAPHY MEASUREMENT SYSTEM

摘要

本揭露提供一种线型扫描形貌量测系统，包括：偏振片用以将光源之光束形成偏极光，偏极光通过第一DIC棱镜后被区分为两相互正交的偏振光，两偏振光通过凸透镜后入射至一待测物后形成干涉系统以产生两干涉光束，两干涉光束通过物镜至第二DIC棱镜，第二DIC棱镜将两干涉光束合成为干涉影像，之后，该干涉影像通过四分之一波片及影像镜片后至线型相机并成像于线型相机上，藉此形成三张不同相位之影像，其中，该线型相机包括具有三相位阵列元件设于其上之三线感测器，该三张不同相位之影像透过三相位演算法以还原出待测物的高度。