热处理装置用之腔室及热处理装置

摘要

关于本发明之热处理装置用之腔室，即使为大型亦可减少于制作时所耗费之工时。;热处理装置1之腔室4系具有：筒状之侧壁12，其用于将被处理物加以包围；及端壁13，其将侧壁12之一侧的开口部12b加以封堵。腔室4系将以氧化矽为主成分之复数个构件(侧壁12、端壁13、第1连结构件14、及第2连结构件15)加以机械结合而形成。