含有相分离结构之结构体的制造方法、图型形成方法及微细图型形成方法;METHOD OF PRODUCING STRUCTURE CONTAINING PHASE-SEPARATION STRUCTURE, METHOD OF FORMING PATTERN, AND METHOD OF FORMING FINE PATTERN

摘要

本发明系关于一种含有相分离结构之结构体的制造方法，其特征为含有于基板上，形成含有复数种类嵌段体所结合之纯度为98%以上的嵌段共聚物之层的步骤、及将含有该嵌段共聚物之层进行相分离的步骤。本发明中，进一步具有于基板上涂布中性化膜，形成由该中性化膜所成的层之步骤、及形成前导图型之步骤为佳。