发明名称 薄膜剥离方法
摘要
申请公布号 TWI482694 申请公布日期 2015.05.01
申请号 TW099114632 申请日期 2010.05.07
申请人 菲肯克菲尔两合股份有限公司 发明人 提尔曼 麦可;汤内斯 哈穆特
分类号 B26D3/28;B29D7/01 主分类号 B26D3/28
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼;王彦评 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项 一种薄膜剥离方法,其系使用一控制装置以移动一刀具(12),使得该刀具(12)相对于一绕着一轴线(A)旋转的材料块(10)遵循一螺旋状轨迹,由该材料块(10)剥离一薄膜,该轨迹形成一螺旋间距(φ),该螺旋螺距(φ)由该材料块每转之刀具(12)进刀所界定,该方法包含下述步骤:执行一初始剥离阶段(AP),以形成该材料块(10)之一螺旋状表面,该材料块(10)之半径随着旋转的角度增加而减少;在一小于360度的角度范围内,以一变化的螺旋间距执行一转变阶段(UP),直到达到所设定的层厚;以对应于该初始剥离阶段之间距的一螺旋间距执行一剥离阶段(SP),该转变阶段之螺旋间距系设定为每一次该刀具在该材料块上通过该转变阶段(UP)之角度范围。
地址 德国