| 摘要 |
L'invention concerne un capteur de pression comprenant : un élément sensible comprenant un substrat support ledit substrat support comprenant une surface supérieure et une surface inférieure, l'élément sensible comprenant en outre une membrane déformable connectée à la surface supérieure du substrat support ; un boitier dans lequel l'élément sensible est disposé, le boitier comprenant un socle ; une structure intermédiaire disposée entre le socle du boitier et le substrat support, ladite structure intermédiaire comprenant une base, la base comprenant une surface supérieure et une surface inférieure connectée au socle du boitier, ladite structure intermédiaire étant configurée pour maintenir à une distance prédéterminée le substrat support de la surface supérieure de la structure intermédiaire ; une couche d'adhésif s'étendant sur la surface supérieure de la structure intermédiaire ladite couche d'adhésif étant d'épaisseur contrôlée par la distance prédéterminée à laquelle le substrat support est maintenu de la surface supérieure de la structure intermédiaire. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un tel capteur de pression. |
