隔板及具有其之基板处理设备

主权项

一种基板处理设备，其包含：一电浆产生部件，其经组态以产生电浆；一壳体，其安置于该电浆产生部件之下方，且其内具有一空间；一基座，其安置于该壳体内且支撑一基板；及一隔板，其包含将自该电浆产生部件供应之该电浆注入至该基板之注入孔，其中该隔板包含一基底，其上形成该等注入孔，且该基底之一中心部分厚于其一边缘；及一耦接部件，该耦接部件具有一环形形状且自该基底之顶部表面的一边缘向上突出，且该耦接部件之一上端高于该基底之该顶部表面之一中心部分。