接触窗结构与形成方法;CONTACT STRUCTURE AND FORMING METHOD

摘要

一种阶梯式接触窗结构的形成方法，包括：形成一由复数个主动层与复数个绝缘层交替的堆叠，此堆叠包括一第一子堆叠与一第二子堆叠，各子堆叠的主动层被该些绝缘层分开。各子堆叠的主动层包括一上边界主动层。一子堆叠绝缘层形成于第一子堆叠层与第二子堆叠层之间。在一已知蚀刻步骤中，子堆叠绝缘层具有一不同于绝缘层的蚀刻时间的蚀刻时间。接通该些上边界主动层；接续上述接通步骤，接通其余该些主动层，并于该些主动层上产生一阶梯式结构的着陆区。形成延伸至该些着陆区的层间导体，该些层间导体由绝缘材料各自分开。