| 主权项 |
一种微球透镜与其阵列的制造方法，包括：(a)提供一基板；(b)沉积第一金属层：于该基板的顶面沉积亲水性较高之一第一金属层；(c)形成微圆柱光阻：于该第一金属层的顶面涂布一层光敏高分子材料，然后以黄光微影成型技术使该光敏高分子材料于该第一金属层的顶面形成单一微圆柱光阻或微圆柱光阻阵列；(d)沉积第二金属层：于该第一金属层及该单一微圆柱光阻或微圆柱光阻阵列的顶面沉积亲水性较低之第二金属层；(e)形成微圆孔洞：移除该单一微圆柱光阻或微圆柱光组阵列及其顶面之第二金属层，使于该第一金属层顶面之第二金属层形成贯通到该第一金属层之单一微圆孔洞或微圆孔洞阵列；(f)形成微圆柱透镜：于该第二金属层的顶面及该单一微圆孔洞或微圆孔洞阵列上涂布一层透镜材料，然后再以黄光微影成型技术使该透镜材料于该单一微圆孔洞或微圆孔洞阵列中形成单一微圆柱透镜或微圆柱透镜阵列；(g)热融：热融该单一微圆柱透镜或微圆柱透镜阵列；以
及(h)冷却固化成型：使热融后之透镜材料冷却固化成型为单一微球透镜或微球透镜阵列。 |
