使用于基体处理系统之基体搬送装置

主权项

一种基体搬送装置，其具备有：腔室壁，系区划搬送空间；台座，系收纳在该搬送空间内；线性马达搬送机构，系在该搬送空间内使该台座移动；光学窗，系设置于该搬送空间与该搬送空间的外部空间之间；以及雷射计测器，系透过该光学窗而朝向该台座照射雷射光，并接收来自该台座的反射光，来计测该台座的位置；其中另具备有光学性地连接该光学窗与该搬送空间之管体；该雷射计测器系透过该光学窗及该管体的内孔而照射该雷射光，并透过该管体的内孔及该光学窗而接收该反射光；该管体系包含有区划出该内孔之内面；该内面的至少一部分系具有0.1mm~3mm的凹凸。