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发明名称 高纯度矽微粉末之制造装置
摘要
申请公布号 TWI482736 申请公布日期 2015.05.01
申请号 TW100136922 申请日期 2011.10.12
申请人 ＣＳ技术研究所有限公司;ＴＭＣ股份有限公司 发明人 加藤健治;岛宗孝之;坂田豊明
分类号 C01B33/033 主分类号 C01B33/033
代理机构 代理人 阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼;林景郁 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 一种高纯度矽微粉末之制造装置，含有如下机构而成：(1)将金属锌加热蒸发至锌之沸点以上以供给锌气体的机构、(2)将液状四氯化矽供给至该锌气体中的机构、(3)混合搅拌该锌气体与该四氯化矽使其反应以生成含矽粒子之反应气体的机构、(4)将该反应气体之温度降至300℃~800℃以使生成之矽粒子成长并且与气体成分之一部分一起沈淀的机构、(5)保持该沈淀物并且将该沈淀物加温至950℃以上使蒸发物挥发以获得固体矽的机构、(6)将含有该蒸发物、含有未反应气体等之排气排出至系统外的排气机构。
地址 日本
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