| 发明名称 |
用于对准基板的装置;APPARATUS FOR ALIGNING A SUBSTRATE |
| 摘要 |
本发明公开了用于对准基板(200)的装置(100)。所述装置包括：两个或两个以上传送单元(120)，每一传送单元(120)包含两个或两个以上支持元件(130、140、150、160、170、180、190、195、199)，所述支援元件被配置以围绕第一旋转轴(400)旋转以传送基板(200)，其中每一支援元件(130、140、150、160、170、180、190、195、199)包括锥形元件，所述锥形元件具有被配置以支援基板(200)的侧表面(151；161、162；171；181；191；196)。; 161, 162; 171; 181; 191; 196) configured to support the substrate (200). |
| 申请公布号 |
TW201517206 |
申请公布日期 |
2015.05.01 |
| 申请号 |
TW103130436 |
申请日期 |
2014.09.03 |
| 申请人 |
应用材料意大利有限公司 APPLIED MATERIALS ITALIA S. R. L. |
发明人 |
帕斯奎林吉安富兰可 PASQUALIN, GIANFRANCO |
| 分类号 |
H01L21/68(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财李世章 |
| 主权项 |
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| 地址 |
义大利 IT |
