设有线性平移支架之真空机械臂;VACUUM ROBOT WITH LINEAR TRANSLATION CARRIAGE

摘要

本发明揭露一种使用在真空腔室中的机械臂。此机械臂可装设在矩形传送腔室内，并且可藉由脐臂结合线性移动导轨及支架的操作而在传送腔室内平移。机械臂之马达或驱动系统可容纳在大气条件中，而传送腔室可保持在真空。机械臂可包括用以搬运晶圆之一或更多臂部。机械臂可包括一或更多马达或驱动系统及一多轴密封件，以实现各臂部的独立延伸/缩合和臂组件的整体同时旋转。