发明名称 |
加热装置 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWM500349 |
申请公布日期 |
2015.05.01 |
申请号 |
TW103207351 |
申请日期 |
2014.04.28 |
申请人 |
爱思强欧洲公司 |
发明人 |
布汀 皮埃尔 阿尔诺;欧本 马克 爱德芬;爱伦 基思;席尔瓦 休果 |
分类号 |
H01L21/205;C23C16/46;H05B3/00 |
主分类号 |
H01L21/205 |
代理机构 |
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代理人 |
赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼 |
主权项 |
一种装置,具有至少一个导电的第一接触板(11)和至少一个导电的第二接触板(12)和分别具备电阻加热构件(1.3至9.3)的加热元件(1至9),该等电阻加热构件(1.3至9.3)藉由第一连接端(1.1至9.1)与该第一接触板(11)相连接并且藉由第二连接端(1.2至9.2)与该第二接触板(12)相连接,其特征在于:该两个接触板(11、12)位于共同的第一平面(E1)内。
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地址 |
德国 |