发明名称 加热装置
摘要
申请公布号 TWM500349 申请公布日期 2015.05.01
申请号 TW103207351 申请日期 2014.04.28
申请人 爱思强欧洲公司 发明人 布汀 皮埃尔 阿尔诺;欧本 马克 爱德芬;爱伦 基思;席尔瓦 休果
分类号 H01L21/205;C23C16/46;H05B3/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人 赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼
主权项 一种装置,具有至少一个导电的第一接触板(11)和至少一个导电的第二接触板(12)和分别具备电阻加热构件(1.3至9.3)的加热元件(1至9),该等电阻加热构件(1.3至9.3)藉由第一连接端(1.1至9.1)与该第一接触板(11)相连接并且藉由第二连接端(1.2至9.2)与该第二接触板(12)相连接,其特征在于:该两个接触板(11、12)位于共同的第一平面(E1)内。
地址 德国