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一种曝光品质控制方法，适用于一曝光机台，该曝光机台系为一NIKON的一即时影像效能控制系统(real-time imaging performance control system)，该曝光机台根据一曝光条件，对一晶圆片进行一曝光动作，该曝光品质控制方法包括：利用一焦距管理方法，得知该曝光机台的一第一焦距；根据该第一焦距，调整该曝光机台；量测该即时影像效能控制系统，得知该曝光机台的一第二焦距；根据该第二焦距，调整该曝光机台；量测该即时影像效能控制系统，得知该曝光机台的一第三焦距；以及根据该第三焦距，产生该曝光条件，其中利用一光罩，量测该即时影像效能控制系统，以求得该第二及第三焦距。
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