对位标识记号、对位方法，及叠对误差量测方法和系统

摘要

本发明提供一种对位标识记号，形成于一半导体基材，包含一利用不同对准制程形成于该半导体基材的同一积层的第一、二对位记号，其中，该等第一、二对位记号为沿同一方向排列并可分成多组具有相同排列规则的第一重复记号组，该每一组第一重复记号组具有两个次图案，该每一个次图案具有至少一个第一对位记号及至少一个第二对位记号，且该两个第一次图案的间距大于该第一次图案中该第一、二对位记号的间距，此外，本发明还同时提供一种利用该对位标识记号的对位方法、量测叠对误差的方法及一种用于量测该叠对误差的系统。