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发明名称 Target for producing transparent ZnIrSiO semiconductor layers and a method for producing such a target
摘要
申请公布号 PL219259(B1) 申请公布日期 2015.04.30
申请号 PL20110396935 申请日期 2011.11.09
申请人 INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ 发明人 KAMI&Nacute,SKA ELIANA;PIOTROWSKA ANNA
分类号 H01L21/00;H01L27/00;H01L31/00;H01L31/0236 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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