| 发明名称 |
マイクロリソグラフィ投影露光系のチャネルの欠陥を補償するための装置及び方法 |
| 摘要 |
本発明は、（ａ）各々が部分ビームを案内し、少なくとも１つが少なくとも１つの欠陥を含む複数のチャネルと、（ｂ）少なくとも１つの欠陥を有する少なくとも１つのチャネルに配置され、これらのチャネルの部分ビームの少なくとも１つの欠陥を少なくとも部分的に補償するようになった少なくとも１つの光学要素とを含むマイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系に関する。【選択図】図７ |
| 申请公布号 |
JP2015513223(A) |
申请公布日期 |
2015.04.30 |
| 申请号 |
JP20150502109 |
申请日期 |
2012.03.29 |
| 申请人 |
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー |
发明人 |
ゼンガー インゴ;シュレゼナー フランク |
| 分类号 |
H01L21/027;G02B19/00;G03F7/20 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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