| 摘要 |
本開示は、サンプル検査とレビューのためのシステム及び方法に関する。一部の実施形態では、画質を向上させるため、画像が収集され、及び／又は個別に指定可能な、赤色、緑色および青色（ＲＧＢ）の照明光源を用いて、欠陥が特定される。一部の実施形態では、照明光源は、サンプルの可変動作の存在で実質的に一定な光度に対して、パルス幅変調である。一部の実施形態では、ステージ組立体は、サンプルの支持面へのアクセスを妨げることなく、サンプルを支持するよう構成され、さらに、サンプルの振動または搖動を低減するよう構成される。一部の実施形態では、照明システムには、全視野における画像焦点調整を可能にする撮像パス及び焦点調節パスが含まれる。 |
