Vorrichtung zur Positionsbestimmung

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Positionsbestimmung mit einer Lichtquelle, einem planen Messreflektor, der mindestens entlang einer Messrichtung beweglich ist, wobei die Messrichtung senkrecht in Bezug auf den Messreflektor orientiert ist sowie einer Detektoranordnung. Mindestens ein von der Lichtquelle emittiertes Strahlenbündel trifft nach dem Beaufschlagen des Messreflektors auf die Detektoranordnung, so dass im Fall einer Bewegung des Messreflektors entlang der Messrichtung mindestens ein Signal resultiert, das von der Position des Messreflektors abhängt und aus dem ein Referenzsignal an einer definierten Referenzposition erzeugbar ist. Das Strahlenbündel beaufschlagt den Messreflektor zweimal und durchläuft zwischen dem Beaufschlagen des Messreflektors eine Umlenkeinheit, die derart ausgebildet ist, dass eine durch eine Messreflektorverkippung nach der ersten Reflexion resultierende Strahlrichtungsabweichung nach der zweiten Reflexion kompensiert ist.