最適化されたＫクロックを有する多速度ＯＣＴ掃引光源

摘要

【課題】低い掃引速度で高深度の試料走査を行うことができ、同じシステムが、高速で低深度の走査を行うことができるシステムを提供する。【解決手段】掃引光信号を参照アームと試料アームとの間で分割し、参照アームと試料アームとから戻る光信号を合わせて干渉信号を生成する干渉計と、掃引光信号を生成する光掃引源システムであって、少なくとも２種類の掃引速度で周波数走査を行うように制御される、光掃引源システムと、掃引速度に応じて、異なる光周波数サンプリング間隔で、干渉信号を検出する検出システムとを備える。【選択図】図３