发明名称 |
セラミックコーティングを有する熱処理されたセラミック基板及びコートされたセラミックスへの熱処理 |
摘要 |
セラミック基板と、初期空隙率及び初期量のクラックを有するセラミックコーティングと、を有するセラミック物品が提供される。上記セラミック物品は約0.1℃/分から約20℃/分のランプレートで、約1000℃から約1800℃の間の温度範囲に加熱される。上記セラミック物品は、上記温度範囲内の一以上の温度で、最大約24時間の期間熱処理される。その後、上記セラミック物品は上記ランプレートで冷却され、上記熱処理後に、上記セラミックコーティングの空隙率は減少し、クラックの量も減少する。 |
申请公布号 |
JP2015512848(A) |
申请公布日期 |
2015.04.30 |
申请号 |
JP20140558807 |
申请日期 |
2013.02.20 |
申请人 |
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドAPPLIED MATERIALS,INCORPORATED |
发明人 |
ジェニファー・ワイ・サン;レン−グァン・デュアン;ビラジャ・アール・カヌンゴ;ドミートリー・ルボミルスキー |
分类号 |
C04B41/87;C04B35/00;C04B41/80;C04B41/89;H01L21/3065 |
主分类号 |
C04B41/87 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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