发明名称 セラミックコーティングを有する熱処理されたセラミック基板及びコートされたセラミックスへの熱処理
摘要 セラミック基板と、初期空隙率及び初期量のクラックを有するセラミックコーティングと、を有するセラミック物品が提供される。上記セラミック物品は約0.1℃/分から約20℃/分のランプレートで、約1000℃から約1800℃の間の温度範囲に加熱される。上記セラミック物品は、上記温度範囲内の一以上の温度で、最大約24時間の期間熱処理される。その後、上記セラミック物品は上記ランプレートで冷却され、上記熱処理後に、上記セラミックコーティングの空隙率は減少し、クラックの量も減少する。
申请公布号 JP2015512848(A) 申请公布日期 2015.04.30
申请号 JP20140558807 申请日期 2013.02.20
申请人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドAPPLIED MATERIALS,INCORPORATED 发明人 ジェニファー・ワイ・サン;レン−グァン・デュアン;ビラジャ・アール・カヌンゴ;ドミートリー・ルボミルスキー
分类号 C04B41/87;C04B35/00;C04B41/80;C04B41/89;H01L21/3065 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
主权项
地址