一時的な基板支持のための装置、複合積層体、方法、及び材料

摘要

光透過性支持体と、その光透過性支持体の上に配設された潜在剥離層と、その潜在剥離層の上に配設された接合層と、その接合層の上に配設された熱可塑性下塗層とを備える複合積層体が提供される。この複合積層体は、例えば、研削予定のシリコンウエハなど、加工予定の基板を更に含み得る。また、提供される積層体を製造するための方法が提供される。【選択図】図１