| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vielschichtstruktur (1) für EUV-Spiegel, umfassend: - erste Schichten (2, 6, 10), - zweite Schichten (4, 8), wobei jeweils abwechselnd eine der ersten Schichten (2, 6, 10) und eine der zweiten Schichten (4, 8) übereinander angeordnet sind, Zwischenschichten (3, 5, 7, 9), welche jeweils zwischen einer ersten Schicht (2, 6, 10) und einer zweiten Schicht (4, 8) angeordnet sind, wobei wenigstens eine der Zwischenschichten (3, 5, 7, 9) Phosphor aufweist.</p> |
