发明名称 |
Soluciones de tensioactivos diol acetilénicos y procedimientos de su uso de las mismas |
摘要 |
<p>Un procedimiento para mejorar la humectabilidad de un substrato, comprendiendo el procedimiento: la puesta en contacto del substrato con una solución acuosa que comprende de 10 ppm a 10.000 ppm de al menos un tensioactivo que tiene la fórmula (I) o (II):**fórmula** en las que R1 y R4 son una cadena alquilo recta o ramificada que tiene desde 3 hasta 10 átomos de carbono; R2 y R3 son o bien H o bien una cadena alquilo que tiene desde 1 hasta 5 átomos de carbono; y m, n, p, y q son números que varían desde 0 hasta 20; recubrimiento del substrato con un recubrimiento protector para proporcionar un substrato recubierto con protector; exposición de al menos una porción del substrato recubierto con protector a una fuente de radiación durante un tiempo suficiente para proporcionar un patrón sobre el recubrimiento protector; y aplicación de la solución de revelador acuosa al substrato para disolver al menos una porción del recubrimiento protector; caracterizado porque la etapa de puesta en contacto se produce en una o más etapas o bien antes de que el substrato haya sido recubierto con el protector o bien después de que el substrato haya sido recubierto con el protector y antes de la etapa de aplicación, o ambas.</p> |
申请公布号 |
ES2534979(T3) |
申请公布日期 |
2015.04.30 |
申请号 |
ES20030017569T |
申请日期 |
2003.08.07 |
申请人 |
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. |
发明人 |
ZHANG, PENG;CURZI, DANIELLE MEGAN KING;KARWACKI, EUGENE JOSEPH JR.;BARBER, LESLIE COX |
分类号 |
G03F7/11;G03F7/16;B01F17/00;B01F17/42;C11D1/72;G03F7/004;G03F7/32;G03F7/38;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/11 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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