微小機械測定素子および微小機械測定素子の製造方法

摘要

本発明は、検知素子（２１）および担体（３）を備える微小機械測定素子（１）を提供する。この検知素子（２１）は、少なくとも１つの第１のはんだ接続部（４１）と少なくとも１つの第２のはんだ接続部（４２）とによって、担体（３）と接続されおり、ここでこの検知素子（２１）は、当該第１のはんだ接続部（４１）を介して電気的に接続されている。さらに検知素子（２１）、担体（３）、および第２のはんだ接続部（４２）は、第１の小室（５１）を形成し、当該第１の小室は、第１の開口部（６１）を備える。さらに本発明は微小機械測定素子（１）の製造方法を提供する。【選択図】 図１