发明名称 Pulslichtquelle und Verfahren zum stabilen Steuern von Phasendifferenz zwischen Pulslaserlichtern
摘要 <p>Eine Pulslichtquelle (1) gemäß der vorliegenden Erfindung beinhaltet: Einen Master-Laser (112), der ein Master-Laserlichtpuls dessen Wiederholungsfrequenz auf einen vordefinierten Wert geregelt wird ausgibt; Einen Slave-Laser (212), der ein Slave-Laserlichtpuls ausgibt; Einen Phasenvergleicher (232), der eine Phasendifferenz zwischen einem elektrischen Signal mit einer Frequenz des vordefinierten Werts und einem elektrischen Signal basierend auf einer Lichtintensität des Slave-Laserlichtpulses erkennt; Einen Schleifenfilter (234); Ein Addierglied (235), das ein Wiederholungsfrequenz-Steuerungssignal mit einem bestimmten Wiederholungszyklus an eine Ausgabe des Schleifenfilters (234) hinzufügt; und einen Phasenvergleicher (306), der eine Pulsphasendifferenz misst, die eine Phasendifferenz zwischen dem Master-Laserlichtpuls und dem Slave-Laserlichtpuls ist. Die Wiederholungsfrequenz des Slave-Laserlichtpulses schwankt abhängig von einer Ausgabe von dem Addierglied. Eine Stärke des Wiederholungsfrequenz-Steuerungssignals wird gesteuert, so dass die gemessene Pulsphasendifferenz mit einem Zielwert der Pulsphasendifferenz übereinstimmt.</p>
申请公布号 DE112013003959(T5) 申请公布日期 2015.04.30
申请号 DE20131103959T 申请日期 2013.07.19
申请人 ADVANTEST CORPORATION 发明人 YAMASHITA, TOMOYU,;IRISAWA, AKIYOSHI,
分类号 H01S3/23;H01S3/139 主分类号 H01S3/23
代理机构 代理人
主权项
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