金属氧化物被膜用涂布液以及金属氧化物被膜

摘要

本发明提供一种形成具有足够保护ITO等透明电极的硬度、具有良好的成膜性、且能够通过光刻来形成图案的被膜的金属氧化物被膜用涂布液。本发明的金属氧化物被膜用涂布液是在式(III)所示的金属盐的存在下，将式(I)所示的金属醇盐、和式(IIA)或式(IIB)所示的有机锡化合物在有机溶剂中水解、缩聚，再添加析出防止剂而得的金属氧化物被膜用涂布液。M¹(OR¹)_n(I)(M¹为Si、Mg、Zn、Ti、Ta、Zr、B、In、Bi或Nb。R¹为碳数1～5的烷基。n为2～5的整数)。Sn(OOCR²)₂    (IIA)(R²为可被氟原子取代、或可具有杂原子的碳数1～20的烷基)Sn(R³COCHCOR⁴)₂(IIB)(R³、R⁴为可被氟原子取代、或可具有杂原子的碳数1～20的烷基)M³(X)_k(III)(M³为Al、In、Zn、Zr、Bi、La、Ta、Y或Ce。X为氯、硝酸、硫酸、乙酸、草酸、氨基磺酸、磺酸、乙酰乙酸、乙酰丙酮化物或它们的碱式盐，k为M³的价数)。

主权项

一种金属氧化物被膜用涂布液，其特征在于，在下式(III)所示的金属盐的存在下，将含有下式(I)所示的金属醇盐、和下式(IIA)或式(IIB)所示的有机锡化合物的混合物在有机溶剂中水解、缩聚，再添加析出防止剂而得；M¹(OR¹)_n    (I)式(I)中，M¹表示选自硅(Si)、镁(Mg)、锌(Zn)、钛(Ti)、钽(Ta)、锆(Zr)、硼(B)、铟(In)、铋(Bi)以及铌(Nb)的至少1种以上金属，R¹表示碳数1～5的烷基，n表示2～5的整数；Sn(OOCR²)₂    (IIA)式(IIA)中，R²表示可被氟原子取代、且可具有杂原子的碳数1～20的烷基；Sn(R³COCHCOR⁴)₂    (IIB)式(IIB)中，R³以及R⁴表示可被氟原子取代、且可具有杂原子的碳数1～20的烷基；M²(X)_k         (III)式(III)中，M²表示选自铝(Al)、铟(In)、锌(Zn)、锆(Zr)、铋(Bi)、镧(La)、钽(Ta)、钇(Y)以及铈(Ce)的至少1种以上金属，X表示氯、硝酸、硫酸、乙酸、草酸、氨基磺酸、磺酸、乙酰乙酸、乙酰丙酮化物或它们的碱式盐，k表示M²的价数。