| 发明名称 | 一种用于密封的激光器光学腔内循环高度净化系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型适用于激光器技术领域，提供了一种用于密封的激光器光学腔内循环高度净化系统，包括：真空泵、吸收盒和DFU(Disposable Filter Units，一次性过滤单元)；所述真空泵对所述激光器光学腔内空气进行抽气；所述真空泵的出气口与所述吸收盒和所述DFU依次连接；所述DFU的出气口连接所述激光器光学腔内空气；所述吸收盒与所述真空泵和所述DFU的连接端均设有过滤网；所述吸收盒内设置有干燥剂、活性炭和分子筛。整个净化系统对激光器光学腔内空气的水分、有机气体分子和0.3um以上固体颗粒的去除作用达到100％，对0.3um以内固体颗粒的过滤效率达到99％左右，另外对其他气体分子的过滤作用也非常明显。 | ||
| 申请公布号 | CN204294090U | 申请公布日期 | 2015.04.29 |
| 申请号 | CN201420700514.3 | 申请日期 | 2014.11.20 |
| 申请人 | 武汉华日精密激光有限责任公司 | 发明人 | 徐进林;何立东;肖志松;杨阳;陈浩;李康 |
| 分类号 | B01D53/26(2006.01)I;B01D53/04(2006.01)I | 主分类号 | B01D53/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人 | 张瑾 |
| 主权项 | 一种用于密封的激光器光学腔内循环高度净化系统，其特征在于，所述净化系统包括依次连接的真空泵、吸收盒和DFU；所述真空泵对所述激光器光学腔内空气进行抽气；所述吸收盒的进气口和出气口分别连接所述真空泵的出气口和所述DFU的进气口；所述DFU的出气口连接所述激光器光学腔内空气；所述吸收盒与所述真空泵和所述DFU的连接端均设有过滤网；所述吸收盒内设置有干燥剂、活性炭和分子筛。 | ||
| 地址 | 430223 湖北省武汉市庙山开发区华中科技大学工业园激光产业园 | ||