一种含硅大分子缓蚀剂组合物及其制备方法

摘要

本发明涉及一种含硅大分子缓蚀剂组合物及其制备方法，所述含硅大分子缓蚀剂组合物包括含氢聚二甲基硅氧烷，羟基喹啉，乙烯基喹啉，氯铂酸乙醇溶液，碱性催化剂，溶剂A和溶剂B。所述含硅大分子缓蚀剂组合物制备方法，向含氢聚二甲基硅氧烷中加入羟基喹啉和溶剂A，然后在85~110℃下加入碱性催化剂，反应后经过滤和减压蒸馏得到一次产物W；向W中加入溶剂B和含乙烯基喹啉，升温至65~80℃后滴加氯铂酸乙醇溶液，反应后得到的混合物经过滤并除去溶剂后即为缓蚀剂组合物。本发明产品具有更高的适用温度和更强的吸附成膜稳定度，所成膜的憎水性和绝缘性更好，防护作用更佳，用量低、持续抗腐蚀性好。

主权项

一种含硅大分子缓蚀剂组合物，其特征在于：所述缓蚀剂组合物包括：15~35质量份含氢聚二甲基硅氧烷，0.1~2.5质量份羟基喹啉，0.1~2.0质量份乙烯基喹啉，0.01~0.1质量份氯铂酸乙醇溶液，0.15~0.5质量份碱性催化剂，150~600质量份溶剂A和100~500质量份溶剂B。