用于分析气体的光声气体传感器设备和方法

摘要

一种用于分析气体的光声气体传感器设备包含发射器模块和压敏模块。发射器模块被布置在载体基板上并且发射光脉冲。压敏模块被布置在载体基板上参考气体空间内。参考气体空间与旨在填充有待分析气体的空间分离。进一步地，压敏模块生成指示关于通过由发射器模块发射的光脉冲与参考气体空间内的参考气体相互作用引起的声波的信息的传感器信号。另外，发射器模块被布置成使得由发射器模块发射的光脉冲在穿过旨在填充有待分析气体的空间之后到达参考气体空间。

主权项

一种用于分析气体的光声气体传感器设备，其包括：发射器模块，被布置在载体基板上并且被配置用于发射光脉冲；以及压敏模块，被布置在所述载体基板上的参考气体空间内，其中所述参考气体空间与旨在填充有待分析气体的空间分离，其中所述压敏模块被配置用于生成指示关于通过由所述发射器模块发射的光脉冲与所述参考气体空间内的参考气体相互作用引起的声波的信息的传感器信号，其中所述发射器模块被布置成使得由所述发射器模块发射的光脉冲在穿过旨在填充有待分析的所述气体的所述空间之后到达所述参考气体空间。