发明名称 防止机械手臂凝结水滴的装置和方法
摘要 本发明公开了一种防止机械手臂凝结水滴的装置,包括文丘里管气体加压喷射装置,所述文丘里管气体加压喷射装置设置在机械手臂上,所述文丘里管气体加压喷射装置具有截面变小的气流通道,所述文丘里管气体加压喷射装置将流入其内部的气流进行加速后喷射到机械手臂。同时,本发明还公开了一种防止机械手臂凝结水滴的方法。通过在机械手臂的上方增设内部具有截面突然变小的气流通道的文丘里管气体加压喷射装置,可以利用车间内本身具有的高效空气过滤器出来的较低速度的气流,对其通过文丘里原理进行加速后喷射到所述机械手臂上,实现在不需要额外增加动力设备前提下,将机械手臂上的水汽吹走,既防止机械手臂凝结出水滴,又有效节约了能源。
申请公布号 CN102881559B 申请公布日期 2015.04.29
申请号 CN201110198692.1 申请日期 2011.07.15
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 邵业明;张伟
分类号 H01L21/00(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种防止机械手臂凝结水滴的装置,其特征在于,包括文丘里管气体加压喷射装置,所述文丘里管气体加压喷射装置设置在所述机械手臂上,所述文丘里管气体加压喷射装置具有截面变小的气流通道,所述文丘里管气体加压喷射装置将流入其内部的气流进行加速后喷射到所述机械手臂;所述文丘里管气体加压喷射装置包括加速部件和导流部件,所述加速部件包括两块内凹的曲形板,所述导流部件包括两块平面板,所述两块平面板的长度和所述曲形板的长度相对应,所述两块平面板的上端和下端分别形成所述导流部件的入气口和排气口,所述两块平面板的上端对应连接在所述两块内凹的曲形板的下端,所述两块平面板的下端与所述机械手臂的上部相匹配,且所述两块平面板上端之间的距离小于下端之间的距离。
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