复合激光介质的扩散键合方法

摘要

本发明提出的一种复合激光介质的扩散键合方法，旨在提供一种可控性强、性能良好的方法。本发明通过下述技术方案予以实现：从上述陶瓷或晶体中先选取二块或多块；再对选取介质进行光学加工；将二块或多块介质经酒精清洗后，放入硫酸体积：磷酸体积＝1:5，10％～20％的混合酸中；将介质从酸液中取出清洗，然后在结合面涂覆硅胶进行胶粘，用钼夹具压紧；将压紧后的陶瓷或晶体的复合体放入马沸炉中缓慢升温到300℃保温3～10小时，再缓慢升温到800℃保温，然后缓慢降至室温。再将复合体从马沸炉中取出，放入真空烧结炉中，在1600～1800℃保温，最后缓慢降至室温。将制备得到的复合介质放入气氛烧结炉中，在氢气、氧气或空气气氛下1200～1500℃保温40～200小时，随后降至室温。

主权项

一种复合激光介质的扩散键合方法，其特征在于包括如下步骤：(1)选材及光加：稀土掺杂钇铝石榴石(Re_xY_3‑xAl₅O₁₂)激光陶瓷、稀土掺杂氧化钇(Re_xY_2‑xO₃)激光陶瓷、稀土掺杂氧化钪(Re_xSc_2‑xO₃)激光陶瓷、稀土掺杂氧化镥(Re_xLu_2‑xO₃)激光陶瓷、钇铝石榴石(YAG)陶瓷、氧化钇(Y₂O₃)陶瓷、氧化钪(Sc₂O₃)陶瓷、氧化镥(Lu₂O₃)陶瓷、钇铝石榴石(YAG)晶体、氧化钇(Y₂O₃)晶体、氧化钪(Sc₂O₃)晶体、氧化镥(Lu₂O₃)晶体、蓝宝石(Al₂O₃)，从上述陶瓷或晶体中选取二块或多块；再对选取介质进行光学加工；(2)化学活化及胶粘：将上述达到光学三级介质经酒精清洗后，放入10％～20％，硫酸体积：磷酸体积＝1:5的的混合酸中酸洗10～40分钟；取出清净，用钼夹具机械固定复合介质并施压、在介质结合面添加硅胶促进原子扩散，胶粘为复合体；(3)预热处理：将胶粘装夹压制好的陶瓷或晶体的复合体放入马沸炉中缓慢升温到300℃保温3～10小时，缓慢升温到800℃保温20～60小时，然后缓慢降至室温，(4)真空高温热处理：将复合体放入真空烧结炉中，在真空度10^‑3～10^‑5Pa、1600～1800℃保温10～30小时，随后缓慢降至室温；(5)退火：将得到的复合介质放入气氛烧结炉中，在氢气、氧气或空气气氛下1200～1500℃保温40～200小时，随后降至室温即可。