一种线性蒸发源

摘要

本发明提供一种线性蒸发源，其包括用于容置蒸镀材料的加热腔、位于该加热腔上方用于混合蒸镀材料蒸汽的混合腔，及用于连通所述加热腔和混合腔的通道；该混合腔一端与所述加热腔通过所述通道导通，另一端设有多个用于喷射所述蒸镀材料蒸汽的喷嘴，该加热腔、该混合腔、该通道及该喷嘴外围分别设有加热器。本发明的线性蒸发源因蒸镀材料的加热和材料蒸汽的混合在两个独立的空间中进行，能够控制蒸镀膜厚度具有更好的均匀性。

主权项

一种线性蒸发源，其特征在于，其包括用于容置蒸镀材料的加热腔、位于所述加热腔上方用于混合蒸镀材料蒸汽的混合腔，及用于连通所述加热腔和混合腔的通道；所述混合腔一端与所述加热腔通过所述通道导通，另一端设有多个用于喷射所述蒸镀材料蒸汽的喷嘴；所述加热腔、混合腔、通道及喷嘴外围分别设有加热器。