电光调制器

摘要

本发明提供了一种电光调制器，该电光调制器包括半导体基底、电极结构和法布里-珀罗谐振器，其中：所述电极结构和所述法布里-珀罗谐振器位于所述半导体基底上；所述电极结构用于形成作用于所述法布里-珀罗谐振器的调制电场；所述法布里-珀罗谐振器包括波导和反射膜，所述波导的折射率随所述调制电场的变化而改变，所述反射膜位于所述波导的通光面上。与现有的马克-曾德尔电光调制器以及法布里-珀罗电光调制器相比，本发明所提供的电光调制器具有器件尺寸小、调制电压低、对波导材料性能要求低以及成本低的优势。

主权项

一种电光调制器，包括半导体基底、电极结构和法布里‑珀罗谐振器，其中：所述电极结构和所述法布里‑珀罗谐振器位于所述半导体基底上；所述电极结构用于形成作用于所述法布里‑珀罗谐振器的调制电场；所述法布里‑珀罗谐振器包括波导和反射膜，所述波导的折射率随所述调制电场的变化而改变，所述反射膜位于所述波导的通光面上。