一种液体定量供给装置

摘要

本发明属于晶片涂胶显影工艺技术领域，具体地说是一种液体定量供给装置。包括补液桶、供液罐、喷嘴连接管、气源及控制系统，其中补液桶通过气体管路和补液管路分别与气源和供液罐连接，所述补液管路上设有补液药液阀，所述喷嘴连接管位于供液罐的下方、并通过供液管路与供液罐连接，所述供液管路上设有供液药液阀，所述补液药液阀和供液药液阀均与控制系统连接，所述控制系统通过补液药液阀和供液药液阀使供液罐内液面的工作位与喷嘴连接管之间的距离保持恒定，实现在恒定压力下液体的定量供给。本发明利用液体自重产生的压力进行供给，与控制系统连接可实现自动补液和定量供给，并且在液体供给时可对液体进行除气泡工作。

主权项

一种液体定量供给装置，其特征在于：包括补液桶(9)、供液罐(10)、喷嘴连接管(7)、气源及控制系统，其中补液桶(9)通过气体管路和补液管路分别与气源和供液罐(10)连接，所述补液管路上设有补液药液阀(4)，所述喷嘴连接管(7)位于供液罐(10)的下方、并通过供液管路与供液罐(10)连接，所述供液管路上设有供液药液阀(6)，所述补液药液阀(4)和供液药液阀(6)均与控制系统连接，所述控制系统通过补液药液阀(4)和供液药液阀(6)使供液罐内液面的工作位与喷嘴连接管之间的距离(D)保持恒定，实现在恒定压力下液体的定量供给。