发明名称 一种石墨碳/QDs/Si复合异质结晶硅片的制备方法
摘要 本发明公开了一种石墨碳/QDs/Si复合异质结晶硅片的制备方法,其首先采用溶胶法将半导体氧化物量子点吸附在石墨纳米晶表面,然后将其作为晶种生长液,在晶硅片上生长沉积。该方法中半导体氧化物量子点/石墨纳米晶的粒径为1~100nm,在晶硅片上均匀生长,利用量子点、异质结及石墨纳米晶独有的特性,提高少子寿命的同时,明显提高晶硅电池的外量子效率,从而提高太阳能光伏电池的光电转换效率。
申请公布号 CN104576328A 申请公布日期 2015.04.29
申请号 CN201410837842.2 申请日期 2014.12.24
申请人 上海师范大学 发明人 余锡宾;吴刚;杨海;吴圣垚
分类号 H01L21/208(2006.01)I;H01L31/028(2006.01)I;H01L31/0745(2012.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I 主分类号 H01L21/208(2006.01)I
代理机构 上海申新律师事务所 31272 代理人 周云
主权项 一种石墨碳/QDs/Si复合异质结晶硅片的制备方法,其特征在于,具体步骤如下:a)配置0.05mol/L~15mol/L的清洗液;b)胶体复合纳米材料的制备:配置浓度为0.001mol/L~10mol/L金属溶液;添加分散剂,充分溶解,分散剂用量为1g/L~20g/L;然后加入1mg/L~100mg/L的碳源,充分搅拌,得到胶体复合纳米材料溶液;c)晶硅片的预处理:将已经制好p‑n结的晶硅片浸渍到清洗液中1~200s,去除电池片表面的油污和二氧化硅层;取出后在去离子水中清洗1~10min,去除残留的清洗液,沥水,吹干;d)复合纳米材料的沉积和生长:将清洗后的晶硅片浸渍到上述胶体复合纳米材料溶液中反应1~100s,以1~5cm/min的速度提拉,迅速吹干;e)快速退火:将处理后的电池片在100℃~1000℃退火1~60min;f)经上述处理的晶硅片再按电池片制作工艺,经刻蚀、蒸镀减反膜及制作电极,得到最终的复合异质结晶硅太阳能电池。
地址 200234 上海市徐汇区桂林路100号