| 发明名称 |
FLYING SENSOR HEAD |
| 摘要 |
<p>본 문헌은 상당한 형태 변화가 이루어지는 기판들의 광학 검사 시스템 및 광학 검사 방법을 제공한다. 본 문헌은 상기 기판의 광학 검사가 이루어지는 동안 광학 검사 시스템의 광학 부품들이 상기 기판을 향해 또는 상기 기판으로부터 이격되게 수직 방향으로 자동으로 이동될 수 있는 시스템을 제공한다. 상기 시스템은 상당한 형태 변화를 가지는 기판들의 정밀한 검사가 가능하도록, 정확한 제어 방식에 따라 광체들을 이동시킨다.</p> |
| 申请公布号 |
KR20150046009(A) |
申请公布日期 |
2015.04.29 |
| 申请号 |
KR20157002211 |
申请日期 |
2013.06.27 |
| 申请人 |
루돌프 테크놀로지스 인코퍼레이티드 |
发明人 |
스테판치크, 워즈시에크;케인, 제임스, 프란시스;콜간, 마이클;아본도로, 제임스 |
| 分类号 |
G01B11/00;G01N21/01;G01N21/17;G01N21/21;G01N21/25;G01N21/45;G01N21/47;G01N21/84;G02B27/02;G05B19/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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