发明名称 | 一种金属熔丝结构 | ||
摘要 | 本发明涉及一种金属熔丝结构,包括:第一金属线和第二金属线,所述第一金属线和所述第二金属线位于上下两层中;金属通孔,连接所述第一金属线和所述第二金属线;位于所述第二金属线下层的第一虚拟金属层,位于所述第一金属线和所述第二金属线两侧的第一虚拟堆栈结构和第二虚拟堆栈结构;其中所述第一虚拟金属层与所述第一虚拟堆栈结构和第二虚拟堆栈结构构成一U型结构环绕所述金属通孔。所述第一虚拟堆栈结构和第二虚拟堆栈结构结合所述第一虚拟金属层以及下方的若干金属层形成散热通道,将所述金属通孔中产生的热量及时消散,确保在所述金属通孔附近不会出现熔丝断裂的情况,提高熔丝结构的稳定性。 | ||
申请公布号 | CN104576601A | 申请公布日期 | 2015.04.29 |
申请号 | CN201310471662.2 | 申请日期 | 2013.10.10 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 冯军宏;甘正浩 |
分类号 | H01L23/525(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/525(2006.01)I |
代理机构 | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人 | 董巍;高伟 |
主权项 | 一种金属熔丝结构,包括:第一金属线和第二金属线,所述第一金属线和所述第二金属线位于上下两层中;金属通孔,连接所述第一金属线和所述第二金属线;位于所述第二金属线下层的第一虚拟金属层,位于所述第一金属线和所述第二金属线两侧的第一虚拟堆栈结构和第二虚拟堆栈结构;其中,所述第一虚拟堆栈结构和所述第二虚拟堆栈结构均包括第二虚拟金属层、第三虚拟金属层、第一虚拟通孔和第二虚拟通孔;所述第二虚拟金属层与所述第二金属线位于同层,所述第三虚拟金属层与所述第一金属线位于同层,所述第一虚拟通孔位于所述第一虚拟金属层与所述第二虚拟金属层之间,所述第二虚拟通孔位于所述第二虚拟金属层与所述第三虚拟金属层之间;其中所述第一虚拟金属层与所述第一虚拟堆栈结构和第二虚拟堆栈结构构成一U型结构环绕所述金属通孔。 | ||
地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 |