用于晶片级原子钟的系统和方法

摘要

本发明提供了用于晶片级原子钟的系统和方法。在至少一个实施例中，一种晶片级设备包括：第一衬底；接合到所述第一衬底的室层，所述室层包括多个密封地隔离的室，其中针对所述多个密封地隔离的室中的每个室产生分离的测量；以及接合到所述室层的第二衬底，其中所述第一衬底和所述第二衬底包括用以控制分离的测量的电子器件，其中分离的测量被组合成单个测量。

主权项

一种晶片级设备（100），所述晶片级设备（100）包括：第一衬底（110）；室层（102），其接合到所述第一衬底，所述室层包括多个密封地隔离的室（104），其中针对所述多个密封地隔离的室（104）中的每个室产生分离的测量；以及第二衬底（112），其接合到所述室层（102），其中所述第一衬底（110）和所述第二衬底（112）包括用以控制分离的测量的电子器件，其中分离的测量被组合成单个测量。