发明名称 905nm硅雪崩光电二极管及其制作方法
摘要 本发明公开了一种905nm硅雪崩光电二极管,包括P<sup>+</sup>衬底层、π型层、P型雪崩区、N<sup>+</sup>光敏区、N<sup>+</sup>保护环和P<sup>+</sup>截止环,其创新在于:在所述N<sup>+</sup>保护环的外周和所述P<sup>+</sup>截止环的内周之间设置有第二N<sup>+</sup>保护环。本发明还公开了前述905nm硅雪崩光电二极管的制作方法。本发明的有益技术效果是:能大幅提高905nm硅雪崩光电二极管的工作温度上限。
申请公布号 CN104576809A 申请公布日期 2015.04.29
申请号 CN201510003267.0 申请日期 2015.01.06
申请人 中国电子科技集团公司第四十四研究所 发明人 曾武贤;李睿智
分类号 H01L31/107(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/107(2006.01)I
代理机构 重庆辉腾律师事务所 50215 代理人 侯懋琪
主权项 一种905nm硅雪崩光电二极管,包括P<sup>+</sup>衬底层(1)、π型层(2)、P型雪崩区(3)、N<sup>+</sup>光敏区(4)、N<sup>+</sup>保护环(5)和P<sup>+</sup>截止环(6),其特征在于:在所述N<sup>+</sup>保护环(5)的外周和所述P<sup>+</sup>截止环(6)的内周之间设置有第二N<sup>+</sup>保护环(7)。
地址 400060 重庆市南岸区花园路14号电子44所