清洗装置

摘要

本发明提供了一种清洗装置，用于清洗基板，所述清洗装置包括传送装置、喷淋装置及止挡装置，所述传送装置用于传送所述基板，所述喷淋装置设置于所述传送装置上方，用于喷水以清洗所述基板，所述止挡装置包括止挡件、风刀及连接于所述风刀的进气管，所述止挡件设置于所述基板上方，所述风刀设置于所述止挡件朝向所述传送装置一侧，所述进气管连接于外部气源以向所述风刀供气，所述风刀用于喷射气体以去除形成于所述止挡件内侧的水滴。本发明的清洗装置通过设置喷淋装置对基板进行清洗，并设置止挡件防止水流喷溅，并进一步设置风刀去除凝结所述止挡件内侧的水滴，防止水滴滴落至所述基板之上。

主权项

一种清洗装置，用于清洗基板，其特征在于，所述清洗装置包括传送装置、喷淋装置及止挡装置，所述传送装置用于传送所述基板，所述喷淋装置设置于所述传送装置上方，用于喷水以清洗所述基板，所述止挡装置包括止挡件、风刀及连接于所述风刀的进气管，所述止挡件设置于所述基板上方，所述风刀设置于所述止挡件朝向所述传送装置一侧，所述进气管连接于外部气源以向所述风刀供气，所述风刀用于喷射气体以去除形成于所述止挡件内侧的水滴。