| 发明名称 | 一种硼扩散源双面喷涂装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种硼扩散源双面喷涂装置，包括：射流器；承载底座，其与射流器的喷射方向相对设置，所述承载底座包括：位于承载底座底部的定位孔，用于固定承载底座；用于定位喷涂样品的定位边缘，用于固定样品；和用于支撑所述喷涂样品的支撑台阶，使得所述喷涂样品与台阶底部的底座面之间存在空隙。本发明还提供了一种进行硼扩散源双面喷涂的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN104549840A | 申请公布日期 | 2015.04.29 |
| 申请号 | CN201410809882.6 | 申请日期 | 2014.12.23 |
| 申请人 | 株洲南车时代电气股份有限公司 | 发明人 | 刘锐鸣;唐革;操国宏;邹冰艳;颜骥;吴煜东;邹昌;刘芹;王政英;姚震洋 |
| 分类号 | B05B13/02(2006.01)I;H01L21/22(2006.01)I | 主分类号 | B05B13/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人 | 吴大建;陈伟 |
| 主权项 | 一种硼扩散源双面喷涂装置，包括：射流器；承载底座，其与射流器的喷射方向相对设置，所述承载底座包括：位于承载底座底部的定位孔，用于固定承载底座；用于定位喷涂样品的定位边缘，用于固定样品；和用于支撑所述喷涂样品的支撑台阶，使得所述喷涂样品与台阶底部的承载底座的底面之间存在空隙。 | ||
| 地址 | 412001 湖南省株洲市石峰区时代路169号 | ||