METHOD OF FORMING PHOTONICS STRUCTURES

摘要

개시된 실시예는 전자 소자를 포함하는 CMOS 반도체 구조물을 제작하는 백 엔드에서 광 소자가 형성되는 집적 회로 구조물 및 이를 형성하는 방법과 관련된다. 상기 광 소자와 연관된 도핑된 영역이 도펀트 활성화를 위해 마이크로파 어닐링을 이용해 형성된다.