一种用于化学液喷洒的摆臂装置及其喷洒方法

摘要

本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种用于化学液喷洒的及其喷洒方法，摆臂装置包括摆臂套筒、带键槽滚珠丝杠支座、升降驱动电机、旋转驱动电机、传动装置、摆臂固定架及化学液管路，升降驱动电机与旋转驱动电机分别安装在摆臂固定架内，带键槽滚珠丝杠支座包括丝杠及螺母，丝杠与升降驱动电机的输出端相连，螺母与丝杠螺纹连接，并通过传动装置与旋转驱动电机的输出端相连，且螺母与传动装置之间具有花键副，摆臂套筒与螺母相连、随螺母升降或旋转；化学液管路放置在摆臂套筒内。本发明的摆臂套筒通过两个电机的驱动可分别实现升降和旋转运动，摆臂套筒在晶圆的上方实现了变速扫描运动，提高了化学液喷洒的工艺效果。

主权项

一种用于化学液喷洒的摆臂装置，其特征在于：包括摆臂套筒（1）、带键槽滚珠丝杠支座（3）、升降驱动电机（5）、旋转驱动电机（6）、传动装置、摆臂固定架（10）及化学液管路（13），其中升降驱动电机（5）与旋转驱动电机（6）分别安装在所述摆臂固定架（10）内，所述带键槽滚珠丝杠支座（3）包括丝杠（4）及螺母（17），该丝杠（4）与所述升降驱动电机（5）的输出端相连，所述螺母（17）与丝杠（4）螺纹连接，所述螺母（17）通过传动装置与所述旋转驱动电机（6）的输出端相连，且所述螺母（17）与所述传动装置之间具有花键副，所述摆臂套筒（1）与螺母（17）相连、随螺母（17）升降或旋转；所述化学液管路（13）放置在摆臂套筒（1）内，随所述摆臂套筒（1）升降或旋转。